EJA差压/压力变送器应用的世界的单晶硅谐振式传感器。是世界一家采用了单晶硅谐振式传感器的厂家。由于单晶硅谐振式传感器具有优良的温度影响特性、静压影响特性、单向过压特性而获得横河电机的广泛应用。单晶硅传感器是在单晶硅芯片上采用微电子机械加工技术（MEMS），分别在其表面的中心和边缘作成两个形状、大小一致的H形状的谐振梁（H型状谐振器有两个振梁），且处于微型真空腔中，使其即不与充灌液接触，又确保振动时不受空气阻尼的影响。 硅谐振梁处于由磁铁提供的磁场中，与变压器、放大器等组成一正反馈回路，让谐振梁在回路中产生振荡。当单晶硅片的上下表面受到压力并形成压力差时将产生形变，中心处受至压缩力，边缘处受到张力，因而两个形状振梁分别感受不同应变作用，其结果是中心谐振梁受压缩力而频减少，边侧谐振梁因受张力而频率之差对应不同的压力信号。这一技术都是由横河电机、并由横河电机应用在产品上的。